低放射性廢棄物因其放射性較低，半衰期較短，可採淺地層掩埋處置或坑道處置，只要將它們長期適當隔離處置，對於環境安全不會造成不良影響。目前國際上的作法，都是尋找一處合適的場址，將其掩埋處置。低放射性廢棄物最終處置場的設計是憑藉人為工程設施並配合天然地質條件所構成之多重障壁系統，達到將廢棄物與人類生活環境長期適當隔離之目的。多重障壁系統是指放射性廢棄物最終處置設施用以阻絕放射性核種之瀝濾、洩漏、及吸附遲滯核種遷移之廢棄物固化體、盛裝容器、緩衝與回填材料、工程結構物，以及地層等工程和天然障壁之多重組合，以阻斷廢棄物中放射性核種遷移或擴散途徑，並防止任何可能意外，俾可確實維護處置場暨其鄰近地區之環境品質，並確保工作人員與民眾生命財產之安全。目前國內外在這方面工程技術上的發展已經十分成熟，亦包括場址調查評估、地下工程開挖施工技術等。
世界各國所採取的地質處置方式，可分為淺層處置與深層處置兩種。淺層處置是將廢棄物放置於地表上或地表下深度不超過30公尺處的處置方式，包括淺地掩埋(法國)、地下處置窖(日本)等。深層處置則是將廢棄物放置於較深的地層岩石中，包括坑道處置(芬蘭)及海床下處置(瑞典)。
各國的處置方式雖因本身條件不同而相異，但都能徹底將放射性廢棄物與生活環境隔離，以確保民眾安全與環境品質。