在處置計畫書第一階段「潛在處置母岩特性調查與評估(94~106)」，在無特定場址之條件下，台電公司以分區、分年、先離島、後本島的方式於全國進行長期地質普查工作及性技術發展，相關成果逐年彙整於各年度成果報告，以確保所獲得之全國性地質調查成果能完整保存，台電公司先於98年提送「用過核子燃料最終處置初步技術可行性評估報告(簡稱SNFD2009報告)」，經原能會於99年核備，達成本階段的第一項里程碑。
台電公司續以全國地質環境(大地構造)、地質合適性調查(火山、斷層活動及海平面變遷等影響因子)為重點，持續進行全國環境地質、地質合適性調查，建立深層地質調查及安全評估技術，於106年總結第一階段研究成果，完成「我國用過核子燃料最終處置技術可行性評估報告(簡稱SNFD 2017報告)」，並且邀請英國、德國、法國、芬蘭及日本共7位專家來臺，進行SNFD 2017報告國際同儕審查，確認我國處置技術與安全評估能力已達國際標準，可供作為處置計畫書第二階段「候選場址評選與核定」之參考依據。
台電公司同時於106年提出「候選場址建議調查區域報告」，建議以「排除」及「評選」兩階段篩選方式進行最終處置場選址，以達成國內選定合適之高放廢棄物最終處置場址地點。排除階段主要考量依現行法令不得開發或限制開發(如水質水量保護區、人口密度)以及地質條件明顯不適合之相關限制，預先排除不適合之區域，前述「SNFD 2017報告」與「候選場址建議調查區域報告」目前已公告於原能會官網，供後續公開討論其合理性及完整性。
在處置計畫書第二階段「候選場址評選與核定(107~117)」，台電公司延續前期計畫成果，規劃就未被排除之區域，依地質鑽探獲得之資料，考量各種評選因子(如地下水水質)，並與國內大範圍調查區域蒐集之公共工程及學術研究結果進行驗證比對，但是此階段必須於有法定程序方能進行，以及納入「公正的組織體」及「公開參與的程序」以使評選過程客觀公正並能符合民眾期待，未來台電公司將配合原能會選址條例之制定，積極推動用過核子燃料最終處置工作。